Principio de funcionamiento
La unidad se compone de una estación de bombeo, un circuito de limpieza y un sistema de control.
Durante el funcionamiento, los conjuntos de limpieza se conectan a los puertos de limpieza designados del equipo objetivo para prepararse para el proceso de limpieza.
Los programas de limpieza se establecen de acuerdo con los requisitos del proceso, después de lo cual el sistema realiza una limpieza automatizada de las superficies internas de la cámara siguiendo la secuencia seleccionada.
Además, se puede conectar una pistola de agua a alta presión para la limpieza manual de superficies externas y componentes auxiliares dentro del área de limpieza.
Después de la limpieza, el equipo puede someterse a un proceso de secado antes de volver al estado de espera para su uso en producción.

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